본 장비는 60BOC, 84BOC의 부품을 메가진에 적재 후 각 트래이에 4개의 매가진을 장착하여, Auto Loading / Unloading 장치에 의해 자동으로 Chamber 안에 투입하여 Bake하는 설비이다. 고온의 정확한 분포와 정밀한 Time 운영으로 투입배출 하며, 3중 안전장치로 구성된 설비이다.
- Temp. Range : +40 ºC ~ +200 ºC - 온도분포도 : ±0.5ºC - 온도안정화 : 5Min 이내 - 풍속 : 무풍 Bake 0.2m/sec이하 - 84BOC : 1Cycle 80X15SX4MX4zone = 19,200pcs - 60BOC : 1Cycle 120X15SX4MX4Zone = 28,800pcs - Capacity : 월 5,000,000 ~ 7,000,000 pcs [21Day] - Event : 메가진별 바코드 및 Test온도 자료관리 - Recorder : Digital 6~12point / PC 통신 - Zone : 4zone 개별 동작 - N2 System - 특허출원 3건
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